profil Twój Profil
Kliknij, aby zalogować »
Jesteś odbiorcą prenumeraty plus
w wersji papierowej?

Oferujemy Ci dostęp do archiwalnych zeszytów prenumerowanych czasopism w wersji elektronicznej
AKTYWACJA DOSTĘPU! »

Twój koszyk
  Twój koszyk jest pusty

Czasowy dostęp?

zegar

To proste!

zobacz szczegóły
r e k l a m a

ZAMÓW EZEMPLARZ PAPIEROWY!

baza zobacz szczegóły
ELEKTRONIKA, ENERGETYKA, ELEKTROTECHNIKA ›
ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA › 2009-9
 

Publikacja: Wytwarzanie ostrzy światłowodowych dla mikroskopii bliskiego pola optycznego
Autor: GRZEGORZ MAŁOZIĘĆ  ŁUKASZ WAŁACH  JACEK RADOJEWSKI  

Jednym z najważniejszych elementów mikroskopu bliskiego pola optycznego SNOM (ang. Scanning Near-Field Optical Microscope), a zarazem jednym z najbardziej wrażliwych i delikatnych jest sonda skanująca. Jest ona najczęściej wykonana w postaci włókna światłowodowego zakończonego stożkowo. Istnieje kilka metod wytwarzania światłowodowych ostrzy pomiarowych. Jednak w praktyce wykorzystywane są tylko dwie najpopularniejsze, które pozwalają uzyskać sondy odpowiednie do zastosowań w skaningowym mikroskopie bliskiego pola optycznego. Są to: metoda wyciągania [1,2] oraz metoda trawienia chemicznego. Metoda trawienia chemicznego, zwana również metodą Turnera, w stosunku do metody wyciągania ma jedną zasadniczą zaletę: można w niej w dosyć łatwy sposób uzyskiwać ostrza o pożądanym kszta[...]

 

Prenumerata

Zamów papierową prenumeratę w wersji PLUS czasopisma ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA i zyskaj dostęp do pozostałych elektronicznych publikacji tego czasopisma z lat 2004-2011 (od 1 marca również rok 2012).
Nie zwlekaj - skorzystaj z tysięcy publikacji o najwyższym poziomie merytorycznym.
prenumerata papierowa roczna PLUS (z dostępem do archiwum e-publikacji) - tylko 397,08 zł
prenumerata papierowa roczna PLUS z 10% rabatem (umowa ciągła) - tylko 357,37 zł *)
prenumerata papierowa roczna - 352,80 zł
prenumerata papierowa półroczna - 176,40 zł
prenumerata papierowa kwartalna - 88,20 zł
okres prenumeraty:   
*) Warunkiem uzyskania rabatu jest zawarcie umowy Prenumeraty Ciągłej (wzór formularza umowy do pobrania).
Po jego wydrukowaniu, wypełnieniu i podpisaniu prosimy o przesłanie umowy (w dwóch egzemplarzach) do Zakładu Kolportażu Wydawnictwa SIGMA-NOT.
Zaprenumeruj także inne czasopisma Wydawnictwa "Sigma-NOT" - przejdź na stronę fomularza zbiorczego »

 

POZOSTAŁE PUBLIKACJE W TYM ZESZYCIE:
Aktywna antena radiolokacyjna na pasmo S. Część 6. Pomiary charakterystyk antenowych odbiorczych i nadawczej
 
ANNA CZWARTACKA  MIROSŁAWANDRZEJEWSKI  GRZEGORZ BARAN  JACEK CHOLEWA  BOGDAN STACHOWSKI  DARIUSZ STARTEK  KONRAD SZUSTAK  
Niniejszy artykuł jest podsumowaniem poprzednich pięciu komunikatów na temat aktywnej anteny radiolokacyjnej na pasmo S. Część pierwsza cyklu artykułów [1] przedstawia koncepcję systemu anteny aktywnej, druga część [2] szczegółowo przestawia rozwiązanie systemu odbiorczego, trzecia część [3] opisuje system nadawczy anteny, część czwarta [4] dotyczy systemu zasilania natomiast część piąta [5] omawia system diagnostyki i sterowania anteny. Sprawdzeniem poprawności koncepcji anteny aktywnej jest uzyskanie wymaganych charakterystyk antenowych zarówno nadawczej, jak i odbiorczych w paśmie pracy urządzenia oraz jego bezawaryjna praca w czasie pomiarów.Wramach przypomnienia zostanie krótko przedstawiona koncepcja systemu anteny aktywnej. Struktura systemu Koncepcja system antenowego[...]
 
Analiza strat trójfazowego falownika o komutacji miękkiej ZCS sterowanego metodą PWM
 
SŁAWOMIR KARYŚ  
Rysunek 1. przedstawia trójfazowy falownik napięcia o komutacji miękkiej przełączany w warunkach zerowego prądu - ZCS. W schemacie (rys. 1) można wyróżnić falownik główny zbudowany z tranzystorów T1 ÷ T6 oraz przekształtnik pomocniczy składający się z tranzystorów T1K ÷ T6K. Pomiędzy wyjściami gałęzi falownika głównego i pomocniczego znajdują się szeregowo połączone elementy L, C. Schemat zastępczy jednej fazy przedstawiono na rys. 2. Przebiegi sygnałów sterujących tranzystory oraz prądy w jednej fazie falownika dla prądu obciążenia I > 0 ilustruje rys. 3. Za dodatnie przyjęto prądy płynące zgodnie kierunkiem przewodzenia przyrządów półprzewodnikowych. Odpowiednie przedziały czasowe z rys. 3 odpowiadają stanom łączników z rys. 4a do 4k. W stanie początkowym prąd obciążenia pr[...]
 
Analiza wielkości powierzchni emisyjnych polowych emiterów elektronów z warstw azotków metali przejściowych: TiN, VN i ZrN
 
ZBIGNIEW ZNAMIROWSKI  JANUSZ MARKOWSKI  STANISŁAW ŁASISZ  
Istotnym parametrem charakteryzującym właściwości emiterów polowych jest powierzchnia emisyjna. Wyznacza się ją z wyników pomiarów charakterystyk emisyjnych I = f(E) bądź I = f(U), skorelowanych z teoretycznym równaniem Fowlera- Nordheima: gdzie: I - oznacza prąd w µA, n jest liczbą emiterów o powierzchni A [µm2], E0 jest polem elektrycznym w przestrzeni anoda-katoda w V/µm i praca wyjścia Ф w [eV].Współczynnik kształtu elektrod (wzmocnienia pola elektrycznego) β jest miarą stosunku mikroskopowego pola elektrycznego E w miejscu emisji w stosunku do makroskopowego pola kondensatora płaskiego: β = E/E0 o elektrodach oddalonych o odległość równą odległości emiter-anoda. Po odpowiednich przekształceniach otrzymuje się w uproszczeniu: Wykres zale[...]
 
Badanie cienkich warstw nanoszonych metodą magnetronowego rozpylania krzemu w atmosferze Ar + O2
 
WITOLD M. POSADOWSKI  ŁUKASZ CH  ARTUR WIATROWSKI  KATARZYNA KRÓWKA  
Ograniczeniem wydajności osadzania warstw związków dielektrycznych podczas reaktywnego rozpylania za pomocą magnetronu jest pokrywanie się (zatruwanie) powierzchni materiału rozpylanego. Na powierzchni targetu tworzą się dielektryczne związki chemiczne, których współczynniki rozpylania są znacznie niższe od materiału targetu (np. Al → Al2O3, Si → SiO2, SiOx). Stan powierzchni materiału rozpylanego stanowi kryterium przy klasyfikacji modu pracy magnetronu. Mod metaliczny, przejściowy i dielektryczny opisują odpowiednio powierzchnię targetu niepokrytą, częściowo pokrytą i całkowicie pokrytą tworzącym się związkiem. Stechiometryczne związki tworzą się w większości wypadków w modzie dielektrycznym lub/i przejściowym (warunek wstępnego uformowania się związku na targeci[...]
 
Charakterystyka powłok z fazy S otrzymanych na drodze reaktywnego rozpylania magnetronowego
 
JOLANTA BARANOWSKA  SEBASTIAN FRYSKA  JOANNA PRZEKOP  TOMASZ SUSZKO  
Stal austenityczna ze względu na dobrą odporność korozyjną w różnych środowiskach znajduje zastosowanie w wielu dziedzinach techniki. Jednakże niska twardość i odporność na ścieranie znacznie ogranicza jej wykorzystanie. Dlatego obróbka powierzchniowa prowadząca do poprawy właściwości użytkowych elementów wykonanych ze stali austenitycznej jest od wielu lat przedmiotem licznych prac badawczych. Podstawowym procesem prowadzącym do poprawy tych właściwości jest proces azotowania i jego pochodne. Nowa epokę w stosowaniu tych metod do stali austenitycznej zapoczątkowały badania prowadzone przez Ichii i in. [1] i dotyczące azotowania jarzeniowego w niskiej temperaturze (400°C). Stwierdzono, że warstwa azotowana uzyskiwana w tych warunkach składa się z fazy azotkowej S (ang. expande[...]
 
Charakterystyka właściwości cieplnych warstw ochronnych metodą 3-omega
 
RAFAŁ ZYBAŁA  KRZYSZTOF T. WOJCIECHOWSKI  WITOLD KUCZA  RYSZARD GAJERSKI  ELŻBIETA GODLEWSKA  RYSZARD MANIA  
Zadaniem barier termicznych (TBC) jest ochrona materiałów podłożowych przed negatywnym wpływem wysokiej temperatury na właściwości mechaniczne tych materiałów. Oprócz bardzo niskiego przewodnictwa cieplnego, warstwy te powinny posiadać również dobre właściwości mechaniczne oraz wysoką odporność korozyjną. Wykorzystanie barier termicznych w różnego rodzaju urządzeniach np. silnikach odrzutowych, turbinach gazowych, pozwala na podwyższenie średnich temperatur pracy, co może poprawić ich sprawność. Głównym zadaniem powłoki TBC jest zapewnienie stabilności termicznej podłoża poprzez ograniczenie transportu ciepła. Powłoki tego typu są zwykle wielowarstwowe. Warstwa wewnętrzna, przylegająca do podłoża jest zwarta i cechuje się dobrą przyczepnością i szczelnością. Warstwa zewnętrzna[...]
 
Ciśnieniowa komora jonizacyjna wypełniona trójfluorkiem boru jako wysokoczuły licznik neutronów termicznych
 
NATALIA GOLNIK   ZDZISŁAW RUSINOWSKI  PIOTR TULIK  MIECZYSŁAW ZIELCZYŃSKI  
W ostatnich latach poważnie wzrosły potrzeby rejestracji neutronów przy niskich wartościach gęstości ich strumienia. Jest to związane między innymi z aktualnie obowiązującymi zaleceniami Międzynarodowej Komisji Ochrony Radiologicznej ICRP (ang. International Commission on Radiological Protection), postulującymi bardzo niskie poziomy rocznej, uśrednionej na 5 lat granicznej dawki efektywnej dla osób z populacji (≤ 1 mSv) [1,2], co w przypadku neutronów oznacza dawkę pochłoniętą rzędu 0,05...0,2 mGy. Przy ciągłym narażeniu, najniższy poziom (t.j. 0,05 mGy, dotyczący neutronów o energii około 1 MeV) odpowiada mocy dawki pochłoniętej w tkance około 2 pGy/s i gęstości strumienia niespełna 0,1 n/cm2s. Zgodnie z przepisami, tak niskie poziomy promieniowania powinny być rejestro[...]
 
Detektor scyntylacyjny elektronów do skaningowego mikroskopu elektronowego umożliwiający obrazowanie płynnej wody
 
WITOLD SŁÓWKO  MICHAŁ KRYSZTOF  
Klasyczny skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) jest systemem próżniowym. Narzuca to rodzaje preparatów, które mogą być badane za jego pomocą. Od lat 80 ubiegłego wieku podejmowano próby obejścia tych ograniczeń. W tym czasie powstało wiele rozwiązań znanych obecnie pod wspólną nazwą skaningowej mikroskopii elektronowej o zmiennym ciśnieniu - VP SEM. Mikroskop taki może działać w warunkach niskiej próżni LV SEM (ang. Low Vacuum SEM) przy ciśnieniach poniżej 6 hPa (ciśnienie nasyconej pary wodnej w temperaturze 0ºC) lub przy wyższych ciśnieniach, jak w przypadku Środowiskowej Skaningowej Mikroskopii Elektronowej ESEM (ang. Environmental Scanning Electron Microscopy) [1]. W systemach VP SEM w komorze przedmiotowej utrzymywane jest podwyższone ciśnienie, natomiast kolumna e[...]
 
Diamentowy mikrochip elektroforetyczny
 
MATEUSZ FIJAŁKOWSKI1  ANNA KARCZEMSKA  JAN ŁYSKO  PETR LOUDA  VICTOR RALCHENKO  STANISŁAW MITURA  
Do rozdziałów DNA i białek tradycyjnie stosuje się proces elektroforezy. Polega on na przemieszczaniu się naładowanych cząsteczek biochemicznych w polu elektrycznym, zależnie od przyłożonego potencjału, masy cząsteczkowej, ładunku, temperatury, właściwości roztworu w mikrokanałach, geometrii przyrządu i czasu. Szybkość przemieszczania się cząsteczek zależy głównie od: ich masy cząsteczkowej, posiadanego ładunku, różnicy potencjałów, lepkości środowiska i temperatury. Do najbardziej popularnych technik elektroforetycznych należy elektroforeza płytowa w żelu poliakrylamidowym. Często używane są także żele agarowe lub skrobiowe. Konwencjonalne techniki do rozdziałów elektroforetycznych są czasochłonne, a przygotowanie próbek wymaga dużego nakładu pracy. Posiadają również inne wad[...]
 
Efektywne technologie internetowe wspomagające niewidomych w dostępie do prasy elektronicznej
 
JOLANTA BRZOSTEK-PAWŁOWSKA  
Problem z utrudnionym czytelnictwem gazet i czasopism osób niewidomych i słabowidzących wynika z dominującego obecnie tabloidalnego stylu wydawnictw drukowanych i elektronicznych (rys. 1), który charakteryzuje się niesekwencyjnie ułożonym tekstem w ramkach, poprzeplatanym grafiką, często teksty są w formie graficznej, dominuje kolumnowość składu. Często wydania elektroniczne prasy są udostępniane w formatach graficznych. Te cechy praktycznie uniemożliwiają efektywne zapoznawanie się inwalidów wzroku z treściami artykułów za pomocą narzędzi wspomagających czytanie, takimi jak programy odczytu ekranu, syntezatory mowy, monitory brajlowskie. Strony WWW na których znajdują się elektroniczne wydania prasy, nie są dostosowane do poruszania się po nich za pomocą czytników ekranów (n[...]
 
Electromagnetic isotope separation in nuclear and solid state physics
 
DARIUSZ MĄCZKA  MARCIN TUREK  JAROSŁAW ZUBRZYCKI  
Electromagnetic mass-separation involves the deflection of charged particles having different masses by a magnetic field. The atoms of separated substance has to be ionized and accelerated up to several tens or hundreds of keV. The electromagnetic separation is widely used for scientific as well as industrial purposes. The paper presents some chosen applications of the method in the field of nuclear and solid state physics. Moreover, the scope is restricted to research carried out by scientific groups at the Institute of Physics, Maria Curie Sklodowska University (UMCS), Lublin, Poland and at the Joint Institute for Nuclear Research (JINR), Dubna, Russia. The investigations of short-lived rare earth isotopes using on-line and off-line set-ups (nuclear physics) andmodifications [...]
 
Electronic control for high efficient process in thermal-moisture pretreatment of meal
 
ANELIYA MANUKOVA  SEHER KADIROVA  
The thermal-moisture treatment is one of the most important operations in the preparation of oilseed material for extraction of vegetable oil and has a significant influence on the quality and quantity of product observed [1,7,8]. The treatment is done in devices with continuous operation called toasters and each of them is divided into separate sections. The meal enters into the toaster and as it passes through the construction, it is treated by moisture and heat simultaneously for an exact duration of time. Control of main parameters influencing in the specified range is necessary for obtaining of product with high quality and quantity [3,9]. This result can be observed by use of electronic control [5] of the thermal moisture treatment of meal in the toaster. The modern meth[...]
 
Generacja fal terahercowych z zastosowaniem laserów półprzewodnikowych
 
BOHDAN MROZIEWICZ  
Zakres widmowy fal elektromagnetycznych określanych terminem "teraherce" rozciąga się umownie od 300 GHz do 10 THz, co odpowiada długości fal odpowiednio od 1 mm do 30 µm. Niektórzy autorzy przesuwają wprawdzie jego dolną granicę aż do 100 GHz [1], lecz są to raczej wyjątki.Wkażdym przypadku pasmo teraherców zajmuje przedział pomiędzy podczerwienią i mikrofalami jak przedstawiono to obrazowo na rys. 1. Jest to ostatni skrawek bardzo słabo wykorzystywanego widma promieniowania elektromagnetycznego, który ostał się w wyniku trudności wiążących się z generacją fal o długości przypadającej na zakres teraherców. Trudności te napotykane są zarówno przy próbach wygenerowania promieniowania terahercowego o dostatecznie dużej mocy na drodze transportu elektronów w ciałach stałych[...]
 
Interferencyjna litografia laserowa
 
YEVHEN ZABILA  MARCIN PERZANOWSKI  KONSTANTY MARSZAŁEK  MARTA MARSZAŁEK  
Praca przedstawia nową technikę litografii zwaną bezpośrednią interferencyjną litografią laserową, która umożliwia wytwarzanie na powierzchni cienkich warstw periodycznych nanostruktur z rozdzielczością rzędu kilkuset nm.Wostatnich latach możliwość tworzenia uporządkowanych periodycznych matryc nanostruktur stała się niezwykle interesująca z punktu widzenia różnorodnych zastosowań w nanotechnologii urządzeń optycznych, sensorów i magnetycznych nośników informacji. Szczególnie w dziedzinie zapisu informacji na nośnikach magnetycznych dalsze zwiększanie gęstości zapisu wymaga użycia do zapisu jednego bitu informacji izolowanej nanocząstki [1] o jednoosiowej anizotropii magnetycznej i powiązania wartości bitu z kierunkiem namagnesowania remanencji [2,3]. W celu utworzenia uporząd[...]
 
Kontrola temperatury powierzchni próbki w procesie RF PECVD przy użyciu kamery termowizyjnej
 
MARIUSZ DUDEK  BOGUSŁAW WIĘCEK  
Wytwarzanie warstw w procesie plazmochemicznym PE CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ma wiele zalet, spośród których najważniejszą jest możliwość wytworzenia fazy przejściowej zbudowanej z połączonych składników podłoża ze składnikami wzrastającej warstwy, odpowiedzialnej w szczególności za dobrą adhezję wytwarzanej warstwy do podłoża. Jednym z najważniejszych czynników, mających wpływ na grubość tworzącej się międzywarstwy w trakcie procesu osadzania warstwy węglowej jest rodzaj oraz temperatura podłoża [1-5]. Ze względu na inherentną złożoność tej technologii i konieczność optymalizacji procesu dla każdego indywidualnego układu warstwa-podłoże, procesy te nie zaistniały w pełni na skalę przemysłową. Zewnętrznie kontrolowane parametry procesu w reaktorze plazmoc[...]
 
Materiałowe skutki zastosowania zaworu impulsowego w urządzeniu IPD
 
KRZYSZTOF ZDUNEK  KATARZYNA NOWAKOWSKA-LANGIER  RAFAŁ CHODUN  JERZY DORA  
W metodzie IPD [1] wykorzystuje się plazmę impulsową generowaną w akceleratorze koaksjalnym, zbudowanym z dwóch elektrod: wewnętrznej - pręta oraz zewnętrznej - tulei. Źródłem energii elektrycznej jest włączona w szereg z akceleratorem bateria kondensatorów o pojemności ok. 100...200 µF naładowana do napięcia kilku kV. W przypadku standardowego rozwiązaniu układu zasilania akceleratora, kluczowanie rozładowaniem kondensatorów następuje z wykorzystaniem ignitronu iskrowego. W urządzeniu IPD kluczowanym ignitronem gaz plazmotwórczy podawany jest do akceleratora plazmy w sposób ciągły przy zachowaniu ciśnienia w komorze osadzania warstw rzędu 10 Pa (np. 20...50 Pa). Powłoka powstaje w wyniku kondensacji na powierzchni podłoża kolejnych porcji składników plazmy. Cechą szczeg[...]
 
Mechanizm przewodnictwa elektrycznego w arsenku galu implantowanym jonami
 
PAWEŁ WĘGIEREK  MARCIN KOWALSKI  
Stopień zdefektowania półprzewodnika determinuje sposób przewodzenia prądu elektrycznego. Można wyróżnić dwie formy: przewodzenie pasmowe, charakterystyczne dla półprzewodnika krystalicznego i skokowe, związane z dużą koncentracją defektów radiacyjnych, spowodowaną np. przez implantację jonową. Przewodność odpowiadająca tej formie wymiany ładunków wykazuje silną zależność od częstotliwości [1], którą można opisać funkcją σ = σHf S. Natomiast przewodzenie pasmowe nie zależy od częstotliwości aż do 108 Hz. Z uwagi na fakt, że implantowany protonami H+ arsenek galu jest silnie zdefektowany, z dużym prawdopodobieństwem można przyjąć, że występują w nim obydwa wymienione mechanizmy przewodzenia prądu, a całkowita konduktywność jest superpozycją dwóch składowych, tj. pasmo[...]
 
Metody pomiaru i analizy charakterystyk impedancyjnych mikro- i nanostruktur
 
TOMASZ PIASECKI  KAROL NITSCH  MATEUSZ WROŃSKI  MARCIN DUDEK  
W pomiarach wykonywanych metodą spektroskopii impedancyjnej bada się odpowiedź analizowanego obiektu na pobudzenie sygnałem elektromagnetycznym w szerokim zakresie częstotliwości pobudzenia. Impedancja jest wyrażana liczbą zespoloną wyrażającą stosunek i przesunięcie w fazie pomiędzy napięciem i natężeniem prądu płynącego przez badany obiekt: gdzie: ω - pulsacja (ω = 2πf), Z(ω) - impedancja, |U|, fU - moduł i przesunięcie w fazie napięcia, |I|, fI - moduł i przesunięcie w fazie prądu, R - rezystancja, X - reaktancja. Metoda ta nie ogranicza się jedynie do pomiarów widm impedancyjnych. W zależności od charakteru badanego obiektu wygodniej jest wyrazić wynik pomiaru poprzez widmo admitancyjne, pojemnościowe widmo modułu dielektrycznego lub indukcyjności: gd[...]
 
Mikroinżynieria powierzchni w mikroelektronice próżniowej
 
ANNA GÓRECKA-DRZAZGA  
Mikroelektronika próżniowa to dziedzina elektroniki zajmująca się projektowaniem, wytwarzaniem oraz zastosowaniem miniaturowych urządzeń wykorzystujących bezkolizyjny, balistyczny ruch elektronów emitowanych w próżni pod wpływem zewnętrznego pola elektrycznego (większego niż 5-109 Vm-1) [1]. Dziedzina ta rozwinęła się na bazie techniki próżni, mikroelektroniki i mikromechaniki. Głównym urządzeniem mikroelektroniki próżniowej jest miniaturowe polowe źródło elektronów. Jest to urządzenie przestrzenne zbudowane z polowej katody ostrzowej oraz układu elektrod, w którym przynajmniej jeden z wymiarów charakterystycznych leży w zakresie mikrometrów lub nanometrów. Główne jego cechy to: mały ciężar, małe wymiary, niska konsumpcja mocy, wysoka częstotliwość pracy i długi czas życia. W[...]
 
Mikroskopia bliskiego pola optycznego na bazie rezonatorów kwarcowych
 
TOMASZ KULKA  PIOTR GIL  MIROSŁAW WOSZCZYNA  ADAM PIOTROWICZ  ZUZANNA KOWALSKA  JACEK RADOJEWSKI  TEODOR GOTSZALK  
Długość fali światła jest podstawowym czynnikiem ograniczającym zdolność rozdzielczą mikroskopów optycznych do kilkuset nanometrów. Alternatywą dla mikroskopów optycznych jest mikroskopia bliskiego pola pozwalająca na zwiększenie rozdzielczości pomiaru. Aby otrzymać rozdzielczość rzędu kilkudziesięciu nm stosuje się zaostrzone włókno światłowodowe, które oświetla lokalnie skanowaną powierzchnię. Rozróżniamy kilka typów mikroskopii SNOM (ang. Scanning Near-Field Optical Microscopy) [1]: transmisyjny, odbiciowy i luminescencyjny. W trybie transmisyjnym próbka oświetlana jest przez włókno światłowodowe zamontowane na rezonatorze kwarcowym. Sonda umieszczona jest w odległości kilkudziesięciu nm od badanej próbki. Natężenie światła przechodzącego przez próbkę rejestrowane jest za p[...]
 
Modelowanie numeryczne rozpływu elektronów w skaningowym mikroskopie elektronowym o zmiennym ciśnieniu
 
MICHAŁ KRYSZTOF  WITOLD SŁÓWKO  
Skaningowy mikroskop elektronowy o zmiennym ciśnieniu gazu w komorze przedmiotowej VP SEM (ang. Variable Pressure Scanning Electron Microscope) jest instrumentem przeznaczonym do obrazowania preparatów dielektrycznych lub zawierających składniki o wysokiej prężności par, bez konieczności ich specjalnego przygotowania. Jest to możliwe dzięki obecności w komorze przedmiotowej gazu, o dostosowanym do preparatu składzie i ciśnieniu, czasem przekraczającym 10 hPa. Zbyt intensywny przepływ gazu do kolumny elektronooptycznej uniemożliwiają dwie przesłony z małymi otworami dla przepuszczenia wiązki elektronowej. Przestrzeń między nimi to tzw. komora pośrednia z ciśnieniem około 0,1 hPa, niezależnie pompowana [1]. Sprzyja to utrzymaniu odpowiedniej atmosfery przy powierzchni próbki, co[...]
 
Modyfikacje powierzchni stopu tytanu metodą rozpylania magnetronowego
 
ELŻBIETA GODLEWSKA  RYSZARD MANIA  MARZENA MITORAJ  NATALIA PAWLAK  
Duża odporność na korozję w różnych środowiskach, obojętność biologiczna, brak toksyczności, a także mała gęstość (4,5 g/cm3) tytanu oraz duża wytrzymałość mechaniczna sprawiają, iż metal ten oraz jego stopy są szeroko stosowane jako nowoczesne biomateriały metaliczne [1,2]. Wzrost zapotrzebowania na elementy biozgodne z tkankami organizmu żywego jest przyczyną ciągłych poszukiwań nowych sposobów ulepszania znanych stopów. Badania obejmują szerokie spektrum wyspecjalizowanychmetod nanoszenia powłok zwiększających biozgodność i tolerancję materiału [1]. Jednak dotychczasowe doświadczenia in vivo nie dają w pełni zadowalających rezultatów. Jest to związane ze stosunkowo łatwym przechodzeniem składników stopu (np. wanadu) do organizmu ludzkiego i w konsekwencji powodowaniem stanó[...]
 
Możliwości wykorzystania wieloźródłowego hybrydowego urządzenia łukowo-magnetronowego do osadzania powłok niskotarciowych
 
WOJCIECH PAWLAK  BOGDAN WENDLER  
Technologie inżynierii powierzchni XXI wieku zdążają w kierunku metod hybrydowych [1]. Pojęcie obróbki hybrydowej można rozumieć dwojako: z jednej strony jako obróbki multipleksowej, polegającej na wytworzeniu dyfuzyjnej warstwy, np. azotowanej czy nawęglonej pokryciem funkcjonalną powłoką wytwarzaną jedną z popularnych metod PVD lub CVD, a z drugiej w ujęciu bardziej szczegółowym, jako połączenie wielu rodzajów metod osadzania powłok stosowanych w tym samym urządzeniu, np. źródło magnetronowe wraz z ablacją laserową [2]. Technologie te pozwalają na uzyskanie powłok o niespotykanych wcześniej właściwościach. Szczególną grupę powłok stanowią powłoki węglowe o korzystnych właściwościach trybologicznych. Powłoki te wykazują wysoką twardość i dużą odporność chemiczną, a ich struk[...]
 
Nanoproszki i warstwy z materiałów termoelektrycznych - otrzymywanie i charakterystyka
 
KRZYSZTOF WOJCIECHOWSKI  RYSZARD GAJERSKI  JUSTYNA GRZONKA  RYSZARD MANIA  KRZYSZTOF MARS  JERZY MORGIEL  RAFAŁ ZYBAŁA  
W ostatnich latach pojawiło się duże zainteresowanie zastosowaniem technologii nanostrukturalnych do otrzymywania materiałów termoelektrycznych. Nowe materiały wykazują znacznie lepszą efektywność w stosunku do typowych materiałów dzięki wykorzystaniu kwantowych efektów rozmiarowych. Na przykład supersieci Bi2Te3/Sb2Te3 o okresie ok. 6 nm wytworzone za pomocą technik MOCVD mają ponad dwukrotnie większy współczynnik efektywności termoelektrycznej ZT w stosunku do materiałów litych [1]. Podobnie interesujące efekty uzyskano dla supersieci PbTe/PbSeTe, GeSi/Ge [2,3]. Typowe technologie cienkowarstwowe używane do otrzymywania tych materiałów mogą w naturalny sposób znaleźć zastosowanie w mikroelektronice do wytwarzania aktywnych elementów chłodzących czy mikrogeneratorów termoele[...]
 
Nanostrukturalne materiały termoelektryczne
 
KRZYSZTOF WOJCIECHOWSKI  
Inżynieria materiałów termoelektrycznych jest jedną z najbardziej dynamicznie rozwijających się w ostatnich latach dziedzin materiałów funkcjonalnych. Jej intensywny rozwój wynika z możliwości szerokiego zastosowania tej grupy materiałów w wielu dziedzinach techniki, np. w energetyce do bezpośredniej konwersji energii cieplnej na elektryczną, w elektronice do konstrukcji sensorów, przetworników i mikroukładów chłodzących elementy elektroniczne (procesory, diody laserowe, elementy noktowizorów) czy w urządzeniach chłodniczych powszechnego użytku. Urządzenia termoelektryczne wykazują się wieloma pożądanymi z punktu widzenia współczesnych technologii cechami: małą wagą, prostotą konstrukcji, bezgłośną pracą, wyjątkową trwałością i niezawodnością, a także stosunkowo niskimi koszta[...]
 
Nonlinear electrical circuits with mixed-mode oscillations
 
Wieslaw Marszalek  Zdzislaw Trzaska  
There have been several papers published in the recent years on an interesting phenomenon called the mixed-mode oscillations (MMOs). The MMOs occur in a number of chemical and biological dynamical systems, such as, for example, in the famous Belousov - Zhabotinsky reaction [1], compartmental model of the dopamine neuron [2], Hodgkin-Huxley model of neuron dynamics [3], dynamics of the peroxidase reaction [4]. There have also been a few reports of various electronic circuits exhibiting oscillations similar or close to MMOs, including the RLC plus a tunnel diode oscillators [5], autonomous Van der Pol - Duffing circuit [6] and a modified version of the Chua’s circuit [7,8]. An excellent review of the recent research on MMOs is provided in [5]. The MMOs phenomena occur in s[...]
 
Powłoki (Cr,Si)N/TiN na wieloostrzowych płytkach tokarskich z węglików spiekanych
 
MAREK DĄBROWSKI  JERZY MORGIEL  JUSTYNA GRZONKA  RYSZARD MANIA  SŁAWOMIR ZIMOWSKI  
Badania nad otrzymywaniem nowych powłok użytkowych, takich jak (Cr,Si)N/TiN [1-3] są prowadzone w dwóch kierunkach. Jednym jest poznanie mechanizmu powstawania warstw, drugim - prawidłowa i rzetelna ocena ich wartości użytkowych. W pracy [1] przedstawiono wyniki testu pracą wieloostrzowych płytek frezarskich z powłoką (Cr,Si)N/TiN. W niniejszej publikacji prezentowane są wyniki testów przeprowadzanych w rzeczywistych warunkach eksploatacji 4-ostrzowych płytek tokarskich SPKN 1203EDR - węglików gatunku SM25T/P25. Nanoszenie powłok Badana powłoka składała się z dwóch warstw, podłożowej i wierzchniej. Warstwę podłożową z azotku tytanu nanoszono techniką łukową. Proces ten składał się z trzech etapów. W pierwszym, podłoża podlegały trawieniu jonami azotu, zaś w drugim - jonami t[...]
 
Problem efektu skalowania w pomiarach chropowatości powierzchni bombardowanej jonami
 
ZBIGNIEW W. KOWALSKI  JANUSZ WILK  
Jednym z częściej badanych rezultatów bombardowania jonowego powierzchni ciała stałego jest modyfikacja jej topografii, obserwowana przy użyciu mikroskopów elektronowych i/lub mikroskopów bliskiego pola. Znacznie rzadziej obserwacje mikroskopowe są połączone z pomiarami chropowatości powierzchni, która jest nieodłącznie związana z topografią. Pomiary wykonywane są przy użyciu wysokiej klasy profilometrów, skaningowych mikroskopów elektronowych [1] oraz mikroskopów sił atomowych [2] i sprowadzają się do oceny wywołanych bombardowaniem zmian podstawowych parametrów i rozkładów statystycznych [3,4], odnoszących się zarówno do cech wysokościowych, jak i horyzontalnych profilu chropowatości. Wiadomo, że właściwości morfologiczne powierzchni materiałów można zmieniać stosując odpow[...]
 
Rozpylanie dwuskładnikowych katod wyładowania jarzeniowego w tlenie
 
ZDZISŁAW WROŃSKI  
Oksydacja metalowych katod wyładowania w tlenie znacznie redukuje szybkość ret ich trawienia [1,2]. Nawet w przypadku klasycznego trawienia metalowych powierzchni monoenergetycznymi jonami tlenu w warunkach niskiego ciśnienia (~10-5 Tr), relatywnie małego w porównaniu z ciśnieniem gazu w wyładowaniu jarzeniowym (~0,1 Tr), współczynniki rozpylania Ys są znacznie mniejsze niż współczynniki rozpylania jonami innych gazów, szczególnie gazów szlachetnych [3]. W pracach [4,5] autor przedstawił wyniki eksperymentalnych badań i teoretycznego modelowania rozpylania różnych katod (Al, Fe, Ti), w wyładowaniu w tlenie w przedziale parametrów wyładowania: ciśnienia (0,1 < p < 0,373 mbar) i gęstości prądu (0,25 < jd < 1 mA/cm2). Obserwowane tam relatywnie małe współczynniki Ys tłumaczone są[...]
 
Sprzętowa realizacja filtrów konwolucyjnych w układach cyfrowych
 
JACEK GÓRA  PRZEMYSŁAW M. SZECÓWKA  
Wraz z rozwojem wielu dziedzin nauki i techniki rośnie zapotrzebowanie na efektywne sposoby przetwarzania informacji. Coraz bardziej zaawansowane i dokładne metody badań, przetwarzania obrazu i dźwięku czy kryptografii wymuszają zwiększanie możliwości obliczeniowych istniejących platform sprzętowych w takim tempie, że tradycyjne rozwiązania oparte o procesory (także sygnałowe), przestają być wystarczające. Odpowiedzią na to zapotrzebowanie są układy specjalizowane. Są one wydajne i energooszczędne, stanowią idealne rozwiązanie w dobie miniaturyzacji. Już w latach 90. prowadzono prace nad efektywną implementacją filtrów konwolucyjnych w układach cyfrowych [1,2], z założeniem realizacji w specjalizowanych układach (ASIC). Ze względu na dość dużą złożoność obliczeniową prowadzono[...]
 
Stabilizacja temperatury pracy łączników przy zastosowaniu powłok wieloskładnikowych wytwarzanych metodą dynamicznego mieszania jonowego
 
MARIUSZ KOLASIK  CZESŁAW KARWAT  CZESŁAW KOZAK  PAWEŁ ŻUKOWSKI  
Podczas pracy łącznika jego parametry eksploatacyjne pod wpływem powstającego między rozchodzącymi się stykami łuku elektrycznego ulegają znacznemu pogorszeniu. Związane jest to z degradacją powierzchni styczności, która staje się chropowata i pokrywa się warstwą nalotową. Jedną z metod poprawy właściwości styków jest galwaniczne nanoszenie warstw ochronnych wykonanych np. ze srebra. Przebieg zmian rezystancji zestykowej i temperatury pracy takiego łącznika zarejestrowanych za pomocą stanowiska do badań łączników, opisanego w pracy [1] przedstawia rys. 1. W początkowym okresie badań łącznik charakteryzuje się niską wartością rezystancji przejścia i temperatury łuku. Stan ten utrzymuje się dopóki z powierzchni styku pod wpływem palącego się łuku nie nastąpi odparowanie srebra. [...]
 
Struktura i wybrane właściwości użytkowe powłok Ni-Cr na podłożach ze stopu TiAlNb
 
ELŻBIETA GODLEWSKA  RYSZARD MANIA  MARZENA MITORAJ  
Tytan oraz jego stopy, ze względu na wiele specyficznych właściwości (między innymi duża wytrzymałość względna, wysoka odporność na korozję, wysoka temperatura topnienia, niska gęstość, obojętność biologiczna) [1,2], znalazły zastosowanie w wielu dziedzinach techniki [3-5]. Szczególnie interesującymi materiałami konstrukcyjnymi (zwłaszcza w lotnictwie) są stopy na osnowie faz międzymetalicznych Ti-Al. Ich zasadniczą zaletą jest niska gęstość połączona z dobrymi parametrami wytrzymałościowymi [6,7]. Prowadzone w ostatnich latach badania nad poprawą właściwości tych stopów poprzez modyfikacje składu [8], mikrostruktury [9] oraz warunków procesu otrzymywania [10] sprawiły, że spełniają one obecnie coraz więcej kryteriów wytrzymałościowych i stanowią materiały konkurencyjne dla na[...]
 
Symulacja komputerowa magnetronowego układu rozpylającego WMK-50
 
WITOLD M. POSADOWSKI  WOJCIECH CZARCZYŃSKI  
Jedną z klasyfikacji układów magnetronowych jest podział na magnetrony zbalansowane i niezbalansowane. Systemy te różnią się stopniem otwarcia pułapki magnetycznej magnetronu. W wypadku magnetronów zbalansowanych linie pola magnetycznego praktycznie zamykają się przy powierzchni targetu, a uwalniane podczas bombardowania jonowego elektrony wtórne są ogniskowane wokół nich przy powierzchni materiału rozpylanego. W wypadku magnetronów niezbalansowanych, część linii pola magnetycznego nie zamyka się przy powierzchni bombardowanego materiału (otwarta pułapka magnetyczna) i w rezultacie elektrony wtórne są kierowane wzdłuż nich w kierunku napylanego podłoża. Bezpośrednim następstwem różnych konfiguracji pola magnetycznego w magnetronach zbalansowanych i niezbalansowanych jest zwięk[...]
 
System do testowania wyświetlaczy LCD pracujący w środowisku LabVIEW
 
KONSTANTY MARSZAŁEK  ZBIGNIEW SOBKÓW  TADEUSZ PISARKIEWICZ  
Elektronizacja sprzętu używanego we wszystkich dziedzinach techniki i życia codziennego prowadzi do upowszechnienia i wzrostu zapotrzebowania na różnorodne elementy elektroniczne stosowane prawie w każdym urządzeniu wchodzącym na rynek. Jednym z istotnych elementów prawie każdego urządzenia są wyświetlacze LCD [1,2]. Tak wielkie zapotrzebowanie na te elementy prowadzi do wzrostu ich produkcji oraz poszukiwania zmian konstrukcyjnych ułatwiających ich wytwarzanie. Zmiany konstrukcyjne wymuszone są wymaganiami ekonomicznymi przy produkcji niezwykłej gamy kształtów, wielkości i ilości wyświetlanych cyfr. Obniżanie kosztów wiąże się ze zmianą droższych technologii wytwarzania na tańsze. Na przykład zastępowanie trwałych połączeń lutowalnych połączeniami za pomącą klejów przewodzący[...]
 
Szkło dla fotoniki. Część 12. Dyspersja i tłumienie szkła światłowodowego
 
RYSZARD ROMANIUK  
Dyspersja w optyce jest zjawiskiem zależności prędkości fazowej fali v od częstotliwości &#969; = 2&#960;f i jest definiowana przez pochodną D = dv/d&#969;. Dyspersja w szkle światłowodowym jest rozważana inaczej niż dyspersja w objętościowym szkle optycznym. W szkle optycznym wyraża się ona np. przez aberrację chromatyczną występującą w konkretnym szklanym elemencie optycznym np. soczewce. W szklanym włóknie optycznym, ze względu na jego znaczną długość, dyspersja objawia się zniekształceniem kształtu propagującej się obwiedni fali optycznej, przez zmianę widma Fouriera takiej fali. Taka obwiednia może mieć np. kształt obwiedni modulacyjnej (inna częstotliwość sygnału) lub krótkiego impulsu (o bardzo szerokim widmie częstotliwości), który w wyniku dyspersji ulega rozszerzeniu[...]
 
Właściwości elektryczne cienkich warstw ZrO2 otrzymywanych metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego
 
JANUSZ MARKOWSKI  KAROL NITSCH  MATEUSZ WROŃSKI  
Cienkie warstwy ZrO2 otrzymywano w procesie reaktywnego rozpylania magnetronowego cyrkonu o czystości 99,99%, w atmosferze roboczej złożonej z mieszaniny (Ar + O2). Wykorzystywano wyrzutnię magnetronową WMK-50 (WEMiF Wrocław) z targetem o średnicy 50 mm i zasilaczem impulsowym (Dora Power System) [1]. Jako podłoża stosowano szkło typu Corning 7059. Przed procesem nanoszenia warstw podłoża nagrzewano grzejnikiem radiacyjnym do temperatury 100°C. W trakcie procesu, temperatury nie kontrolowano. Odległość podłoży od powierzchni targetu wynosiła 100 mm. Stosując mieszaninę (Ar + 12,5%O2) jako gaz roboczy o ciśnieniu 4 Pa wytworzono dwie serie struktur kondensatorowych oznaczonych odpowiednio jako A i B (tab. 1). W tabeli 1a przedstawiono także zdjęcie badanych struktur serii A, w[...]
 
Właściwości morfologiczne powierzchni stali bombardowanej ukośną wiązką jonów
 
ZBIGNIEW W. KOWALSKI  JANUSZ WILK  
Bombardowanie jonowe umożliwia modyfikację morfologii powierzchni materiałów w procesach polerowania jonowego, &#8220;chropowacenia" jonowego (ion roughening), ujawniania powierzchniowych/ przypowierzchniowych elementów strukturalnych czy generacji różnorodnych form topograficznych [1]. Procesy te są ważne i muszą być brane pod uwagę w wielu obszarach działalności naukowej, takich jak badanie materiałów przy użyciu TEM, AES czy SIMS, gdzie techniki jonowe mają istotne znaczenie. Najczęściej analiza morfologii powierzchni bombardowanej jonami sprowadza się do obserwacji jej topografii przy użyciu mikroskopów elektronowych i/lub mikroskopów bliskiego pola. Znacznie rzadziej obserwacje mikroskopowe są połączone z pomiarami chropowatości powierzchni, która jest nieodłącznie związa[...]
 
Wpływ krzywej łamanej modulacji FM na odstęp listka głównego od bocznych w sygnałach radiolokacyjnych
 
PAWEŁ LASKOWSKI  ANDRZEJ MILEWSKI  
Zastosowanie krzywej łamanej modulacji FM w sygnałach radiolokacyjnych typu chirp nie jest rozwiązaniem nowym. Rozwiązania takie były badane [12] do tej pory w dość wąskim zakresie i dotyczyły pojedynczych przypadków, realizowanych z użyciem linii z akustyczną falą powierzchniową. Niniejszy artykuł jest rozszerzeniem tych badań, obejmującym pewien zakres zmian nachylenia segmentów bocznych oraz zastosowanie różnych funkcji wagowych podczas detekcji sygnału. Zastosowanie krzywej łamanej dynamiki modulacji FM w detekcji listka głównego zostało opisane w literaturze [12]. Analizy dokonano dla sygnału o paśmie 7,35 MHz i czasie trwania 10 &micro;s. W przedstawionym przykładzie uzyskano 12 dB redukcję listków bocznych spowodowanych efektem obcięcia i zjawiskiem Fresnela. Opis sygn[...]
 
Wpływ poprzecznego pola magnetycznego na ekstrakcję jonów H- z wielootworowego źródła jonów
 
MARIN TUREK  JULIUSZ SIELANKO  
Ogrzewanie plazmy przez wstrzykiwanie wiązki cząstek neutralnych o dużej energii NBI (Neutral Beam Injection) jest jedną z najważniejszych metod, których zastosowanie jest planowane w projektowanych urządzeniach mających służyć do badań nad fuzją termojądrową (m.in. w projektach ITER i Wendelstein W7X). Szczególnie wiele nadziei wiąże się z rozwojem technologii NBI wykorzystujących ogromne źródła jonów ujemnych (przekrój czynny na neutralizację jonów ujemnych nie maleje tak gwałtownie z energią, jak ma to miejsce w przypadku jonów dodatnich). Rozwój nowych systemów NBI wymaga dogłębnej znajomości procesów wytwarzania jonów, zjawisk transportu w plazmie, jak również procesów wytwarzania i ekstrakcji wiązek jonowych. Wygodnymi i wydajnymi narzędziami ułatwiającymi poznanie wyżej[...]
 
Wpływ wygrzewania na konduktywność nanokompozytów (CoFeZr)x + (Al2O3)1-x wytwarzanych rozpylaniemmagnetronowymw atmosferze argonu
 
TOMASZ N. KOŁTUNOWICZ  
Jednym z perspektywicznych kierunków wytwarzania nanokompozyów są techniki jonowe. Za pomocą rozpylania magnetronowego wytwarzane są nanokompozyty metal-dielektryk, w których faza metaliczna występuje w postaci nanocząsteczek odizolowanych od siebie materiałem izolacyjnym. Od strony naukowej są one prawie idealnymi układami do modelowania zjawisk perkolacji, co jest istotne przy weryfikacji założeń teoretycznych. Jednocześnie nanomateriały o strukturze metal-dielektryk mogą znaleźć szerokie zastosowanie w technice. Wykazują właściwości półprzewodnikowe [1], a jednocześnie są znacznie tańsze, mają interesujące cechy optyczne i magnetooptyczne [2], dużą magnetorezystywność [3], możliwość sterowania rezystywnością w bardzo szerokim zakresie [4,5], światłoczułość oraz wysokie wspó[...]
 
Zastosowanie dualnego przekształcenia z inwersją w syntezie dolnoprzepustowego prądowego filtru eliptycznego
 
TOMASZ ADRIKOWSKI  MARIAN PASKO  
W systemach przetwarzania sygnału układy pracujące w trybie prądowym cechuje szerokie pasmo przenoszenia oraz wysoka odporność na zakłócenia i z tego powodu coraz częściej zastępują układy napięciowe. Synteza filtrów prądowych może bazować na napięciowych rozwiązaniach układowych, które zwykle łatwiej się wyznacza, po za tym istnieje sporo gotowych opracowań. Aby z filtru napięciowego otrzymać filtr prądowy należy zastosować przekształcenie obwodowe - dualne przekształcenie z inwersją. Przekształcenie dualne z inwersją Rozważmy obwód pierwotny (czwórnik) pracujący w trybie napięciowym o znanej rozwarciowej transmitancji napięciowonapięciowej KU(s) (rys. 1a). Obwód pierwotny złożony jest z elementów R, L, C oraz źródeł sterowanych - prądowych I i/lub napięciowych E. Można go [...]
 
Zmiennoprądowe przewodnictwo elektryczne krzemu implantowanego jonami
 
PAWEŁ WĘGIEREK  MARCIN KOWALSKI  
W zależności od stopnia krystalizacji krzemu jest on charakteryzowany dwoma różnymi formami przewodzenia prądu elektrycznego. Pierwszy, klasyczny przypadek to krzem monokrystaliczny, w którym zachodzi przewodzenie pasmowe. Zupełnie inaczej przedstawia się sytuacja w przypadku krzemu amorficznego wytwarzanego naparowywaniem próżniowym, w którym może występować przewodzenie skokowe (hoppingowe). Według N. Motta [1] przewodność odpowiadająca tej formie wymiany ładunków wykazuje silną zależność od częstotliwości, którą można opisać funkcją &#963; = &#963;Hf S. Natomiast przewodzenie pasmowe nie zależy od częstotliwości aż do 108 Hz. Z uwagi na fakt, że implantowany jonowo krzem jest silnie zdefektowany, jego właściwości są dalekie od charakterystycznych dla krzemu krystalicznego,[...]
 
Źródło jonów dla potrzeb implantacji jonami Al+
 
MARCIN TUREK  KRZYSZTOF PYSZNIAK  SŁAWOMIR PRUCNAL  ANDRZEJ DROŹDZIEL  JERZY ŻUK  
Jednym z materiałów wykorzystywanych w technologii wytwarzania elektronicznych przyrządów półprzewodnikowych dużej mocy i odpornych na wysokie temperatury pracy (do 250oC) jest węglik krzemu (SiC). Charakteryzuje się on między innymi dużą wartością przerwy energetycznej (około 3,2 eV w zależności od politypu kryształu), a także wysoką temperaturą topnienia równą 2830oC. Wprowadzanie domieszek do materiału podkładki, celem wytworzenia obszarów typu p i n, może odbywać się różnymi metodami: domieszkowania w trakcie epitaksjalnego wzrostu kryształu (MBE), klasyczną metodą dyfuzji termicznej oraz w wyniku procesu implantacji jonowej. Metoda implantacji jonowej umożliwia dokładne określenie lokalizacji i koncentracji domieszki, co jest trudne do osiągnięcia metodą dyfuzji termiczne[...]
 

Czasowy dostęp

zegar Wykup czasowy dostęp do tego czasopisma.
Zobacz szczegóły»