Popularne w ostatnich latach metody chemicznego osadzania z fazy
gazowej CVD (Chemical Vapour Deposition), jak i fizycznego osadzania
z fazy gazowej PVD (Physical Vapour Deposition) pozwalają
na ulepszanie materiałów przez modyfikację ich powierzchni powłokami
węglowymi. Powłoki wpływają na poprawę takich parametrów,
jak: twardość, odporność na zużycie ścierne, adhezja, odporność korozyjna.
Ponadto elementy ulepszane powłokami węglowymi cechują
się doskonałą biotolerancją w środowisku płynów ustrojowych [1÷4].
Inne właściwości użytkowe ma element ulepszony przez wytworzenie
warstwy dyfuzyjnej. Warstwa ta pozwala bowiem na nasycenie
wierzchniej części materiału wybranym pierwiastkiem. Przykładem
tego typu procesu jest nawęglanie wraz z dalszą obróbką cieplną, zapewniające
modyfikowanym materiałom poprawę twardości i odporności
na zużycie ścierne. Jednakże wysoka temperatura procesu ogranicza
możliwość stosowania nawęglania do wąskiej grupy materiałów
[5, 6]. Szczególny problem stanowi nawęglanie podłoży wykonanych
ze stali austenitycznej, która jest materiałem mało odpornym na oddziaływanie
wysokiej temperatury. Trudność nawęglania tego rodzaju
materiałów oparta jest na zagrożeniu spowodowanym utworzeniem
się w trakcie procesu węglików chromu (M23C6), które znacznie obniżają
właściwości fizykochemiczne stali austenitycznej. Z doniesień
literaturowych wynika, że ten rodzaj materiału próbowano nasycić
dyfuzyjnie za pomocą wyładowania jarzeniowego prądu stałego DC
(Direct Current), jak i za pomocą metody niskotemperaturowego
nierównowagowego nawęglania (low-temperature paraequilibrium
carburization) [7÷13]. Badano również właściwości elementów nawęglonych
w procesie niskotemperaturowego nierównowagowego
nawęglania, a następnie pokrytych powłoką węglową [14].
Badania prowadzone w Instytucie Inżynierii Materiałowej Politechniki
Łódzkiej dowodzą, że możliwe jest wytworzenie warstwy
przejściowej w wyniku procesu RF PACVD [2]. Zastosow
[...]