276 Ochrona przed Korozją, vol. 54, nr 6
stopów magnezu AZ31, AZ32 oraz AZ91. Na
każdym ze stopów Mg wykonano powłoki
SiO2 o różnych grubościach. Właściwości
korozyjne badanych powłok określono na
podstawie analizy krzywych woltamperometrycznych.
2. Opis eksperymentu
Do eksperymentu przygotowane zostały
cztery próbki dla każdego z poddanych badaniom
stopów magnezu AZ31, AZ32 i AZ91.
Przed procesem osadzania plazmowego powierzchnia
każdej z próbek została zeszlifowana
i wypolerowana, a następnie oczyszczona
przy użyciu standardowej procedury mikroelektronicznej
RCA (SC1+SC2+buforowy
HF).
Na próbkach oznaczonych numerami od 1
do 3 osadzono, na stanowisku plazmowym
Oxford Plasmalab 80 Plus, metodą PECVD
z wykorzystaniem plazmy wysokiej częstotliwości
(13,56 MHz), warstwę SiO2 o grubości
odpowiednio 12 nm, 22 nm i 44 nm. Wszystkie
parametry wykonanych procesów osadzania
plazmowego PECVD przedstawione zostały
w tablicy 1.
Grubość osadzonych warstw SiO2 zmierzona
została za pomocą elipsometru jednofalowego
(λ = 632,8 nm). Pomiary elipsometryczne
przeprowadzane były bezpośrednio
po procesach osadzania plazmowego PECVD.
Otrzymane wyniki zamieszczone zostały w tabeli
1. Próbki oznaczone numerem 4 nie zostały
zabezpieczone powłoką SiO2,
[...]




Metoda płatności: Płatności elektroniczne (karta kredytowa, przelew elektroniczny) | |
Dostęp do publikacji (format pdf): 6.00 zł
|
|
Dostęp do Wirtualnej Czytelni - archiwalne e-zeszyty czasopisma (format swf) - 1h: 24.60 zł | |
Dostęp do Wirtualnej Czytelni - archiwalne e-zeszyty czasopisma (format swf) - 4h: 43.05 zł | |
Dostęp do Wirtualnej Czytelni - archiwalne e-zeszyty czasopisma (format swf) - 12h: 73.80 zł | |