profil Twój Profil
Kliknij, aby zalogować »
Jesteś odbiorcą prenumeraty plus
w wersji papierowej?

Oferujemy Ci dostęp do archiwalnych zeszytów prenumerowanych czasopism w wersji elektronicznej
AKTYWACJA DOSTĘPU! »

Twój koszyk
  Twój koszyk jest pusty

Czasowy dostęp?

zegar

To proste!

zobacz szczegóły
r e k l a m a
FAIL (the browser should render some flash content, not this).

ZAMÓW EZEMPLARZ PAPIEROWY!

baza zobacz szczegóły

Wyniki wyszukiwania

Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"Cezary MAJ"

» Aktuatory i sensory w technologii MEMS jako mikroelektromaszynowe elementy mechatroniki

Andrzej NAPIERALSKI  Michał SZERMER  Krzysztof SZANIAWSKI  Michał OLSZACKI  Cezary MAJ  
W artykule przedstawiono wybrane projekty mikromaszyn i mikrosystemów krzemowych zaprojektowanych w DMCS i wykonanych w technologiach MEMS. Należą do nich: mikrosilnik, mikropompa i mikrozwierciadło krzemowe, czujniki promieniowania podczerwonego, przetworniki elektrotermiczne, czujniki przepływu gazu, czujniki przyśpieszenia, punktowe źródła światła, tranzystory ISFET i CHEMFET a także różne warianty mikromaszynowych czujników przyśpieszenia oraz pomiaru ciśnienia wewnątrzczaszkowego. Abstract. In this paper the chosen microsystems designed in DMCS and manufactured in MEMS technology have been presented. The silicon micromotor, micropump and micromirror as well as IRS- infrared radiation sensors, ETC- electro-thermal converter, GFS- gas flow sensors, ASacceleration sensor, ISFET and[...] więcej»
w zeszycie PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY 2009/9


 

 Strona 1 
r e k l a m a
FAIL (the browser should render some flash content, not this).