Twój Profil
Kliknij, aby zalogować »
Jesteś odbiorcą prenumeraty plus
w wersji papierowej?

Oferujemy Ci dostęp do archiwalnych zeszytów prenumerowanych czasopism w wersji elektronicznej
AKTYWACJA DOSTĘPU! »

Twój koszyk

Twój koszyk jest pusty

Czasowy dostęp?

To proste!

zobacz szczegóły

r e k l a m a

ZAMÓW EZEMPLARZ PAPIEROWY!

zobacz szczegóły

Wyniki wyszukiwania

Wyniki 1-2 spośród 2 dla zapytania: authorDesc:"RAFAŁ CHODUN"

» Materiałowe skutki zastosowania zaworu impulsowego w urządzeniu IPD

KRZYSZTOF ZDUNEK

KATARZYNA NOWAKOWSKA-LANGIER

RAFAŁ CHODUN

JERZY DORA

W metodzie IPD [1] wykorzystuje się plazmę impulsową generowaną w akceleratorze koaksjalnym, zbudowanym z dwóch elektrod: wewnętrznej - pręta oraz zewnętrznej - tulei. Źródłem energii elektrycznej jest włączona w szereg z akceleratorem bateria kondensatorów o pojemności ok. 100...200 µF naładowana do napięcia kilku kV. W przypadku standardowego rozwiązaniu układu zasilania akceleratora, kluczowanie rozładowaniem kondensatorów następuje z wykorzystaniem ignitronu iskrowego. W urządzeniu IPD kluczowanym ignitronem gaz plazmotwórczy podawany jest do akceleratora plazmy w sposób ciągły przy zachowaniu ciśnienia w komorze osadzania warstw rzędu 10 Pa (np. 20...50 Pa). Powłoka powstaje w wyniku kondensacji na powierzchni podłoża kolejnych porcji składników plazmy. Cechą szczeg[...] więcej»
w zeszycie ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA 2009/9

KUP TERAZ » KUP TERAZ (SMS) »

» Struktura i właściwości elektroniczne warstw AlN wytwarzanych w reaktywnym procesie rozpylania magnetronowego

Katarzyna Nowakowska -Langier

Od końca lat dziewięćdziesiątych pojawiają się w literaturze doniesienia dotyczące syntezy warstw AlN metodami plazmowej inżynierii powierzchni. Najczęściej wykorzystywana jest tu metoda rozpylania magnetronowego (np.[1, 2]), stosowano także metodę parowania wiązką laserową (np.[3]). Genezą poszukiwań w tym zakresie są unikalne właściwości azotku glinu: stabilność termiczna, chemiczna, wysoka twardość, duża przewodność cieplna, bardzo dobre właściwości elektroizolujące (duża wartość napięcia przebicia), szeroka przerwa energetyczna, przezroczystość w zakresie widzialnym, bardzo wysoka transmitancja w zakresie podczerwieni, duża wartość współczynnika załamania światła. Właściwości te predestynują AlN zarówno do zastosowań mechanicznych, antykorozyjnych, jak i elektrycznych. W ostatnim dziesięcioleciu, szczególnie w ostatnim okresie można zaobserwować wzrastającą liczbę publikacji dotyczących wykorzystania warstw AlN w strukturach elektronicznych takich, jak falowody powierzchniowe, fotodetektory, warstwy antyrefleksyjne [4-6]. Celem opisanych poniżej badań nad syntezą warstw AlN metodą rozpylania magnetronowego było określenie warunków technologicznych otrzymywania warstw AlN o parametrach materiałowych odpowiadających potencjalnym aplikacjom w przyrządach elektronicznych. Metodyka eksperymentalna Warstwy AlN wytwarzane były metodą pulsacyjnego rozpylania magnetronowego z wykorzystaniem dwóch magnetronów kołowych WMK 100 [7], współpracujących ze sobą w układzie "Gemini"[ 8]. Targety o średnicy 100 mm i grubości 8 mm wykonane były z glinu o czystości technicznej (99,99%). Do zasilania magnetronów zastosowany został impulsowy zasilacz DORA PS o mocy 10 kW, prac[...] więcej»
w zeszycie ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA 2011/11

KUP TERAZ » KUP TERAZ (SMS) »

Strona 1

r e k l a m a