Twój Profil
Kliknij, aby zalogować »
Jesteś odbiorcą prenumeraty plus
w wersji papierowej?

Oferujemy Ci dostęp do archiwalnych zeszytów prenumerowanych czasopism w wersji elektronicznej
AKTYWACJA DOSTĘPU! »

Twój koszyk

Twój koszyk jest pusty

Czasowy dostęp?

To proste!

zobacz szczegóły

r e k l a m a

ZAMÓW EZEMPLARZ PAPIEROWY!

zobacz szczegóły

Wyniki wyszukiwania

Wyniki 1-2 spośród 2 dla zapytania: authorDesc:"Łukasz Jeziorski"

» Trójwymiarowa rekonstrukcja powierzchni w SEM z zastosowaniem półprzewodnikowego detektora elektronów wstecznie rozproszonych

Witold Słówko

Łukasz Jeziorski

Michał Krysztof

Skaningowa Mikroskopia Elektronowa (SEM) jest szeroko rozpowszechnionym narzędziem badawczym i pomiarowym, jednak standardowe informacje dotyczące rozmiarów pionowych badanych obiektów mają tu charakter jakościowy. W celu trójwymiarowego zobrazowania topografii powierzchni w SEM stosowane są obecnie metody stereometryczne, które opierają się na pomiarze przesunięć odpowiadających sobie punktów na parze obrazów wykonanych pod różnymi kątami (tzw. stereo-parze) [1]. Jednak metoda ta zawodzi, gdy powierzchnia jest gładka i nie ma dostatecznej liczby rozróżnialnych szczegółów. Alternatywą dla metody stereoskopowej są techniki wielodetektorowe wywodzące się z metody fotometrycznej, do których zalicza się również prezentowana metoda [2, 3]. W tym wypadku, synteza obrazu trójwymiarowego opiera się na właściwościach rozkładu kątowego elektronów wtórnych i wstecznie rozproszonych. W odróżnieniu od metod stereoskopowych, omawiana metoda umożliwia również odtworzenie kształtu powierzchni gładkich. Badania dotyczące metody wielodetektorowej odtwarzania topografii powierzchni są prowadzone przez autorów od dłuższego już czasu i doprowadziły do opracowania zaawansowanego systemu cyfrowej akwizycji i przetwarzania sygnałów z czterokanałowego detektora scyntylacyjnego elektronów wtórnych (SE), umożliwiającego w pełni trójwymiarowe obrazowanie powierzchni w SEM. Jednak wspomniany detektor scyntylacyjny jest konstrukcją bardzo złożoną, co zmniejsza szanse rozpowszechnienia tego systemu. Poza tym, detektor ten może pracować poprawnie jedynie w wysokiej próżni, ze względu na wysokie napięcie zasilające scyntylatory. Uniemożliwia to zastosowanie systemu w mikroskopii o zmiennym ciśnieniu i środowiskowej (ang. VP/E SEM - Variable Pressure / Environmental SEM) dynamicznie roz[...] więcej»
w zeszycie ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA 2011/11

KUP TERAZ » KUP TERAZ (SMS) »

» Detekcja elektronów wtórnych przez przesłonę dławiącą w SEM o zmiennym ciśnieniu

Witold Słówko

Michał Krysztof

Łukasz Jeziorski

Klasyczna skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM) jest techniką próżniową, podczas gdy wiele rodzajów preparatów powinno być badane w odpowiedniej atmosferze gazowej. Takie możliwości stwarza SEM o zmiennym ciśnieniu lub środowiskowy (z ang. Variable Pressure/Environmental SEM, w skrócie VP/E SEM), w którym ciśnienie w komorze przedmiotowej może być utrzymywane na znacznie wyższym poziomie niż w kolumnie elektronooptycznej, wymagającej utrzymania wysokiej próżni. Te dwa regiony są odseparowane przez obszar o pośrednim ciśnieniu gazu, (tzw. komorę pośrednią) ograniczony dwoma przesłonami dławiącym przepływ gazu, a umożliwiającymi przechodzenie wiązki elektronowej [1]. Istotnym problemem związanym z techniką VP/E SEM jest detekcja sygnału elektronów wtórnych (SE). Standardowym rozwiązaniem jest tutaj detektor jonizacyjny, w postaci pierścieniowego kolektora umieszczonego w komorze przedmiotowej, nad próbką. Kolektor ten zbiera strumień SE zwielokrotniony dzięki zderzeniom jonizującym z molekułami gazu [2]. W zakresie niższych ciśnień, rzędu 1 hPa, można prowadzić detekcję fotonów emitowanych przy relaksacji wzbudzonych atomów [3, 4]. Jednak jakość sygnałów otrzymywanych z wymienionych detektorów istotnie zależy od rodzaju i ciśnienia gazu roboczego wypełniającego komorę przedmiotową [5]. Autorzy od dłuższego czasu zajmują się alternatywną techniką detekcji elektronów wtórnych, implikującą transport elektronów wtórnych poprzez przesłonę dławiącą i ich detekcję w komorze pośredniej (tzw. detektor jednostopniowy [6]) lub też o jeden stopień dalej, w obszarze próżni wysokiej (tzw. detektor dwustopniowy [7]) z zastosowaniem techniki scyntylacyjnej do konwersji sygnału elektrycznego na świetlny. Właściwości opracowanych detektorów są zbliżone do standardowego demogą być zapisane w formie czterech obrazów różniących się kierunkiem podświetlenia (kierunek detekcji). Po przetworzeniu otrzymuje się zbiór profili powierzchni wzdłuż lini[...] więcej»
w zeszycie ELEKTRONIKA - KONSTRUKCJE, TECHNOLOGIE, ZASTOSOWANIA 2011/11

KUP TERAZ » KUP TERAZ (SMS) »

Strona 1

r e k l a m a