Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"Ptzemysław Siedlaczek"

Odwrotna analiza numeryczna temperatury stalowego podłoża w procesie RF PECVD

Czytaj za darmo! »

Procesy plazmochemiczne (plasma enhanced chemical vapor deposition - PECVD) są zaliczane do jednych z najbardziej rozwijanych współcześnie metod kształtowania warstwy powierzchniowej. Między innymi proces PECVD z elektrodą częstotliwości radiowej (ang. radio frequency - RF) są stosowane z powodzeniem do wytwarzania cienkich warstw o wysokich walorach użytkowych, w tym do wytwarzania warstw węglowych. Do największych zalet procesu RF PECVD należy zaliczyć możliwość wytworzenia fazy przejściowej zbudowanej z połączonych składników podłoża ze składnikami wzrastającej warstwy, odpowiedzialnej w szczególności za dobrą adhezję wytwarzanej warstwy do podłoża. Zewnętrznie kontrolowane parametry procesu w reaktorze plazmo- chemicznym, a mianowicie ciśnienie, szybkość przepływu mieszaniny gazów, moc wyładowania (gęstość mocy) oraz częstotliwość zasilającego generatora, mające fundamentalny wpływ na procesy zachodzące w fazie gazowej [1, 2], wpływają także na zachodzące oddziaływanie na granicy plazmy i powierzchni, w szczególności na wzrost temperatury podłoża w trakcie trwania procesu [3÷5]. W przypadku warstw węglowych wytwarzanych w procesie RF PECVD, temperatura podłoża również determinuje właściwości użytkowe wytwarzanej warstwy przez zmianę jej mikrostruktury oraz grubości tworzącej się międzywarstwy [6÷8]. Przekroczenie pewnej krytycznej wartości temperatury powierzchni próbki, powoduje, iż wodór celowo wprowadzony do komory lub powstały w wyniku dysocjacji gazu węglowodorowego, będącego źródłem węgla, prowadzi do przejścia od procesu osadzania do procesu trawienia warstwy węglowej [9, 10]. Zauważono, że osadzanie warstw w temperaturze powyżej 225°C (przybliżona wartość temperatury, przy której zachodzi przejście od procesu wzrostu do procesu trawienia wytwarzanej warstwy węglowej) wpływa na szybki spadek oporności elektrycznej i znaczące zmiękczenie warstw - następuje proces grafityzacji warstwy węglowej [2, 6, 11]. Dlatego osa[...]

 Strona 1