Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"Zbigniew MITURA"

Wyznaczanie natężeń wiązek elektronowych dla dyfrakcji typu RHEED w ramach zaawansowanych i uproszczonych opisów teoretycznych DOI:10.15199/24.2019.4.2


  Wstęp. W ostatnich latach wielu badaczy na świecie (np. [16, 33]) oraz w Polsce (np. [8, 15, 34, 37]) stosuje metodę PLD (ang. pulsed laser deposition) do otrzymywania cienkich warstw. Metoda ta, zwana także metodą osadzania z użyciem lasera impulsowego jest wykorzystywana m.in. na Wydziale Inżynierii Metali i Informatyki Przemysłowej AGH, w Katedrze Inżynierii Powierzchni i Analiz Materiałów [16, 17]. Ostatnio w Katedrze Informatyki Stosowanej i Modelowania (na tym samym Wydziale) pojawiły się pewne inicjatywy, aby wobec metody PLD w sposób systematyczny zaproponować szereg modeli komputerowych i przeprowadzać różne symulacje, w nieco podobny sposób jak praktykowane jest to w stosunku do przetwarzania metali w metalurgii [36, 37]. W tym duchu od pewnego czasu prowadzone są już niektóre prace dyplomowe. Np. w pracy inżynierskiej [43] opracowano prosty model komory próżniowej (rys.1). Jednocześnie warto także zwrócić uwagę na pewne możliwe rozszerzenie metody PLD, tj. przeprowadzanie monitorowania procesu osadzania warstw z użyciem odbiciowej wysokoenergetycznej dyfrakcji elektronowej nazywanej zwykle techniką RHEED (ang. reflection high energy electron diffraction). Jest ono już praktykowane przez niektórych badaczy (przykłady użycia RHEED są omówione m.in. w dwóch pracach przeglądowych [16, 38]. Bardziej ogólnie można powiedzieć, że monitorowanie wzrostu warstw przy pomocy techniki RHEED może być traktowane, jako interesująca opcja dodatkowa dla badaczy wykorzystujących metodę PLD. Niniejszy artykuł jest poświęcony tej tematyce, zaprezentowane są niektóre szczegóły dotyczące możliwych opisów teoretycznych niezbędnych do przeprowadzania interpretacji danych doświadczalnych. Technika dyfrakcyjna RHEED w zasadzie znana jest od bardzo dawna, pierwsze eksperymenty z wykorzystaniem elektronów wysokoenergetycznych, przy zastosowaniu geometrii odbiciowej przeprowadzano już pod koniec lat dwudziestych ubiegłego wieku (więcej inf[...]

 Strona 1