Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"Cezary MAJ"

Aktuatory i sensory w technologii MEMS jako mikroelektromaszynowe elementy mechatroniki

Czytaj za darmo! »

W artykule przedstawiono wybrane projekty mikromaszyn i mikrosystemów krzemowych zaprojektowanych w DMCS i wykonanych w technologiach MEMS. Należą do nich: mikrosilnik, mikropompa i mikrozwierciadło krzemowe, czujniki promieniowania podczerwonego, przetworniki elektrotermiczne, czujniki przepływu gazu, czujniki przyśpieszenia, punktowe źródła światła, tranzystory ISFET i CHEMFET a także różne warianty mikromaszynowych czujników przyśpieszenia oraz pomiaru ciśnienia wewnątrzczaszkowego. Abstract. In this paper the chosen microsystems designed in DMCS and manufactured in MEMS technology have been presented. The silicon micromotor, micropump and micromirror as well as IRS- infrared radiation sensors, ETC- electro-thermal converter, GFS- gas flow sensors, ASacceleration sensor, ISFET and[...]

 Strona 1