Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"Paulina Bańczerowska"

Kinetyka wzrostu powłok Al2O3 osadzanych metodą PED i PLD

Czytaj za darmo! »

Cienkie powłoki Al2O3 są stosowane w wielu dziedzinach. Dzięki dobrym właściwościom mechanicznym są używane jako powłoki odporne na ścieranie [1] oraz powłoki odporne na korozję [2], właściwości optyczne zadecydowały o ich zastosowaniu w światłowodach [3], a elektryczne o zastosowaniu jako warstwy pasywne w półprzewodnikach metal-tlenek [4]. Każda z tych aplikacji wykorzystuje inną technikę preparatyki. Stosuje się m.in. wysokotemperaturową (ponad 1000°C) metodę CVD [2, 5]. Inną techniką jest metoda PLD, która ze względu na dużą energię kinetyczną ablacji pozwala na otrzymanie powłok w niższej temperaturze substratu [6, 7]. Metodą PLD można otrzymać powłoki o różnej budowie, np. w pełni zwarte, o strukturze kolumnowej [8÷12]. Metody otrzymywania cienkich powłok bazujące na wykorzystaniu wiązek wysokoenergetycznych znajdują coraz szersze wykorzystanie w technice. Do metod takich można zaliczyć m.in. pulsacyjną ablacje laserową (Pulsed Laser Deposition - PLD) oraz pulsacyjną ablacje elektronową (Pulsed Electron Deposion - PED). W pierwszej wykorzystuje się laser jako źródło energii, natomiast w drugim przypadku wiązkę elektronów. Podczas osadzania tymi metodami impulsowa wiązka lasera lub elektronów pada na powierzchnię substancji w stanie stałym. Przy odpowiednio dużej gęstości energii oraz krótkim czasie impulsu w wyniku silnej absorpcji wysokoenergetycznego promieniowania część powierzchni materiału zostaje gwałtownie odparowana (ablacja) w postaci plazmy. Materiał plazmy przemieszcza się bardzo szybko w kierunku prostopadłym do powierzchni tarczy, napotykając na swojej drodze podłoże osadza się na nim, tworząc powłokę. Kształt i temperatura plamki plazmy mają istotny wpływ na jednolitość otrzymywanej powłoki. Na jakość powłoki wpływ ma mechanizm osadzania materiału plazmy na podłożu. Wysokoenergetyczny materiał plazmy, uderzając w podłoże, powoduje wybicie atomów z powierzchni. W tym o[...]

 Strona 1