Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"URSZULA WAWRZYNIAK"

Wytwarzanie miniaturowych sensorów elektrochemicznych i matryc sensorów na podłożu krzemowym


  Materiały i metody technologiczne, wypracowane dla potrzeb technologii planarnej układów scalonych, znajdują także zastosowanie w produkcji różnego rodzaju sensorów. W Zakładzie Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych ITE w Piasecznie podejmowano już prace związane z wytwarzaniem czujników chemicznych na podłożach krzemowych [1, 2]. W ramach niniejszej pracy wytworzono trzy rodzaje sensorów w technologii planarnej, kompatybilnej z technologią CMOS. Prace prowadzone były na linii technologicznej, działającej w cleanroomach klasy ISO 6 (1000) i ISO 4 (10). Opis technologii W pracach używano jednostronnie polerowane płytki z monokrystalicznego krzemu o orientacji (100) i średnicy 100 mm. Na płytkach o rezystywności 0,01 Ωcm wytwarzano warstwę tlenku termicznego o grubości 100 nm w rurze kwarcowej w 1000°C. Następnie w reaktorze LPCVD w wyniku reakcji dwuchlorosilanu (SiH2Cl2) z amonia[...]

 Strona 1