Amorficzne warstwy azotku węgla a-CNx, zostały po raz pierwszy otrzymane w efekcie poszukiwań metody syntezy fazy β-C3N4 [1, 2]. Pomimo, że zawartość azotu w takich warstwach nie przekracza 30÷40% at., wykazują one dobre właściwości tribologiczne. Są twarde, odporne na zużycie i mają mały współczynnik tarcia. Dzięki temu znajdują zastosowanie jako powłoki ochronne w przemyśle maszynowym, w urządzeniach medycznych [3, 4] i elementach elektronicznych, na przykład w twardych dyskach czy głowicach odczytu-zapisu [5, 6]. Warstwy te mają również dobre właściwości elektroluminescencyjne i fotoluminescencyjne, dobre fotoprzewodnictwo oraz małą stałą dielektryczną [7]. Warstwy węgloazotkowe coraz częściej zastępują w zastosowaniach warstwy węglowe. Wykazują zwykle lepszą adhezję do podłoża, dzięki relaksacji naprężeń związanej z obecnością azotu [8, 9]. Parametry użytkowe warstw azotku węgla zależą od względnej zawartości węgla, azotu i ewentualnie wodoru. Wraz z zawartością azotu zmienia się względny udział węgla w hybrydyzacji sp2 i sp3. Właśnie proporcja C-sp2 do C-sp3 uważana jest za najważniejszy parametr strukturalny, który decyduje o użytkowych właściwościach warstwy. Dzięki obecności wiązań C-H warstwy a-CNx(H) są bardziej stabilne niż warstwy bez wodoru. Mikrostruktura warstw, w których przeważa faza C-sp2 przypomina sieć wzajemnie przenikających się klastrów grafitopodobnych. Takie warstwy oznacza się zwykle symbolem a-C:N, a w przypadku warstw zawierających wodór a-C:N:H. Jeżeli w warstwie przeważa węgiel w hybrydyzacji sp3, tworzą się obszary o strukturze tetraedrycznej. Stosuje się wówczas symbole ta-C:N lub ta-C:N:H [10÷12]. Pomimo intensywnych badań, wiele pytań dotyczących amorficznych warstw azotku węgla pozostaje otwartych. W dużej mierze dotyczą one budowy atomowej i struktury elektronowej oraz ich modyfikacji w procesie technologicznym. W porównaniu z warstwami węglowymi, amorficzny azotek węgla wykazuje duż[...]