Wyniki 1-3 spośród 3 dla zapytania: authorDesc:"Arkadiusz DĄBROWSKI"

Zastosowanie ceramiki HTCC w konstrukcjach mikromechanicznych z warstwami grubymi PZT


  Technologie - ceramiczna i grubowarstwowa pozwalają na wykonywanie różnego rodzaju czujników, przetworników i innych urządzeń mikromechanicznych, takich jak na przykład sensory ciśnienia [1], siły [2]. W opisywanych zastosowaniach chętnie stosowana jest ceramika LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics - niskotemperaturowa ceramika współwypalana) głównie ze względu na temperaturę wypalania poniżej 900oC. Umożliwia to stosowanie typowych materiałów grubowarstwowych, co pozwala na wykonywanie różnego rodzaju biernych elementów elektronicznych wewnątrz wielowarstwowego modułu ceramicznego [3]. W przeciwieństwie do LTCC, ceramika HTCC wypalana jest w temperaturach z zakresu 1500…1800oC. Z tego powodu przy wykonaniu zagrzebanych metalizacji, należy stosować materiały o wysokiej temperaturze topnienia, jak W, Mo, Mn [4], o względnie większej rezystywności. W tabeli 1 przedstawiono porównanie podstawowych parametrów dwóch rodzajów ceramiki. Dla konstrukcji mikromechanicznych istotne są właściwości mechaniczne, takie jak moduł Younga oraz wytrzymałość na odkształcenia. Ceramika HTCC cechuje się blisko 3-krotnie wyższym modułem Younga w odniesieniu do LTCC, co jest jednoznaczne ze zwiększeniem sztywności konstrukcji i zmniejszeniem deformacji elementów w wyniku oddziaływania siły. Ponadto ceramika wysokotemperaturowa może pracować w wyższych temperaturach oraz posiada większą wytrzymałość mechaniczną. Ceramika HTCC znajduje głównie zastosowanie przy wykonywaniu układów mikrofalowych [5] oraz obudów [4], a także nielicznych konstrukcji mikrofluidycznych i mikromechanicznych [6]. Tab. 1. Porównanie wybranych parametrów ceramiki LTCC i HTCC [4] Tabl. 1.Comparison of selected parameters of LTCC and HTCC [4] Parametr Jednostka LTCC HTCC Przewodność cieplna W.m-1.K-1 3 20 Współczynnik rozszerzalności liniowej ppm.K-1 6 7 Wytrzymałość dielektryczna V.m-1×106 15 14 Stała dielektryczna (10 GHz) 7,8 9 Stratność dielektryczna (tgδ[...]

Model and design of integrated LTCC piezoelectric accelerometer and package


  Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) and thick-film technology can be applied not only in fabrication of multilayer electronic circuits, but also in microsystem technology [1, 2]. The LTCC technology is based on flexible ceramic tape processing. 3-dimensional devices with cavities, channels, beams and diaphragms are made of properly machined stacked layers of the ceramic tape. It is possible to build various type of sensors e.g. pressure sensor [5] and force sensor [3] utilizing the LTCC technology. There is also possible to use ceramic materials to fabricate packages for electronic circuits or devices made of e.g. Si [4]. In this paper the model and preliminary project of the LTCC package for piezoelectric accelerometer are presented. The sensor has been successfully designed and manufactured previously. Unpackaged sensor is presented in Fig. 1a. The sensor is made of the LTCC with TF2100 PZT thick film (Meggitt Sensing Systems, Kvistgaard,[...]

Meander monopole LTCC antenna for ISM 2.4 GHz


  Rapid and progressive growth of wireless communication, especially mobile telephony and positioning systems, creates a need for exploration of electromagnetic spectrum in high frequencies (microwaves and millimeter waves). Therefore, modern technical solutions should be multifunctional and hence multiband (in terms of operating frequency) as well as of small size, good quality and reliable [1]. Integrated microwave systems are manufactured using silicon, thin film and LTCC technologies [2]. All of the mentioned technologies are suitable for manufacturing micro- and millimeter waves components, with comparable good electrical parameters. In this paper design, manufacturing and measurements of the microwave monopole antennas are described. Measurements of S11 parameter, comparison between experiment and simulations, tuning of antenna and discussion is presented. Design of the antenna The antenna was designed and manufactured in the LTCC technology. The desired fr[...]

 Strona 1