Wyniki 1-1 spośród 1 dla zapytania: authorDesc:"Larysa Koshewa"

O kalibracji elektronowego mikroskopu skaningowego do pomiaru wymiarów w zakresie nanometrowym


  Rozwój nowych technologii, w tym nanotechnologii oraz ich zastosowanie w różnych dziedzinach nauki i technologii otwiera nowe możliwości prowadzenia bardziej zaawansowanych badań i uzyskiwania produktów o wysokiej jakości. Wiąże się to ściśle z opracowaniem i doskonaleniem metod i środków pomiarowych stosowanych w tej dziedzinie. Dotyczy to w szczególności pomiaru wymiarów struktur stosowanych w czujnikach i mikroczujnikach półprzewodnikowych. W nanotechnologii do ilościowej oceny wymiarów różnych struktur badanych obiektów używa się obecnie najbardziej zaawansowanych technicznie mikroskopów elektronowych. Rozdzielczość najnowszych konstrukcji wynosi kilka nm. Stosuje się przede wszystkim skaningowe mikroskopy elektronowe (SEM), a także i mikroskopy sił atomowych (AFM). Chociaż mikroskopy AFM mają większą rozdzielczość, to do badań wymiarów geometrycznych w zakresie nanometrowym (tj. poniżej mikrona) rzadziej używa się je w praktyce, głównie wtedy, gdy trzeba uzyskać trójwymiarowy obraz obiektu badanego. Wynika to stąd, że wiele obiektów, głównie biologicznych, ulega zniszczeniu, lub nieodwracalnym zmianom podczas tych badań. Ponadto technologia wykonania ramienia z igłą pomiarową jest dość skomplikowana oraz mikroskopy te działają stosunkowo wolno i są bardzo drogie. Podstawą zaufania do wyników pomiarów (ich wiarygodności) i dokonywania porównań parametrów mierzonych obiektów jest spójność (traceability) otrzymywanych danych pomiarowych z wzorcem [1], poprawnie przeprowadzona kalibracja narzędzia pomiarowego oraz jego błąd graniczny lub rozszerzona niepewność pomiarów nim wykonywanych, oszacowana zgodnie z zaleceniami międzynarodowego Przewodnika GUM. Specyfiką mikroskopów jako przyrządów pomiarowych jest ich nieprzenośność, gdyż korzysta się z nich jedynie na stanowiskach stacjonarnych. Dla uzyskania tożsamych i porównywalnych wyników trzeba indywidualnie stosować kalibrację przy ustawianiu parametrów pracy każdego z nic[...]

 Strona 1